氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏-益择网-专业的仪器网上选购商城

德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司

一、电磁阀阀芯检漏原因:

该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接（电磁阀阀芯）,一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接（电磁阀阀芯）产品如下图:

由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.

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