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何谓分子泵、离子泵？
2013-03-28 14:08:53 益择发布何谓分子泵、离子泵？
应该都是真空泵。
激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域唯一真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表。它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点。而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节。在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程中，都涉及到超高真空的获取技术。本文将对激光陀螺生产过程中超高真空的获取技术进行探讨。
1 真空系统的构成
激光陀螺在生产中要求其真空系统具有较高的真空度，并且要求真空系统密封效果好、密封性可靠、可充入惰性气体和启动快速。要实现这一目标，不同的厂家根据自己的能力和用户的要求设计出了不同的真空系统。但总的来说，采用的设备大同小异，图 1 为生产激光陀螺所用的真空系统的典型结构。
图1中分子泵（次级泵）是这个真空系统的主要抽气工具，但由于它不能单独从大气环境开始工作，因而在它前面要串联一个能从大气开始工作而能达到的真空度往往不高的机械泵（前级泵），并在分子泵和机械泵之间串联一个油扩散泵（增压泵）。同时，为了在较短的时间内达到超高的真空度，本真空系统还使用了钛升华泵作为辅助抽气的无油泵。当然，也有一些系统由于采用了性能较好的分子泵，省略了油扩散泵，而最后一级也可以加入离子泵或锆泵来提高真空系统的性能。
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